日前， 在2023上海国际微技术研究与创新论坛（2023 SITRI DAY）上，上海微技术工业研究院发布了“MEMS标准工艺模块”以及“90nm硅光集成工艺”两项“超越摩尔”技术成果。

据悉，这两项成果均来自该院承担的国家及市级重大专项所取得阶段性成果，可为行业中小企业提供MEMS制造和硅光子器件的标准化工艺，大幅提高产品设计效率，其技术水平均达到国际先进水平，其中硅光集成工艺器件库水平更是达到国际领先水平。

2023上海国际微技术研究与创新论坛暨上海工研院十周年庆、第四届菊园科技创新论坛、MEMS WORLD SUMMIT活动由上海市科学技术委员会、上海市经济和信息化委员会、上海市国有资产监督管理委员以及上海市嘉定区人民政府联合指导，由上海微技术工业研究院、嘉定区菊园新区管委会、MEMS WORLD SUMMIT主办，新微科技集团、上海菊园经济发展中心联合承办。

本次活动以“面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康”为核心宗旨， 通过建设打造一个高水平的技术交流平台，促进科技创新资源的开发协同，引领“超越摩尔”产业向中高端迈进，实现产业的高质量发展。

作为上海市首家研发与转化功能型平台，上海微技术工业研究院与首批15家平台的落地对上海市科创中心建设所起到的基石作用。中科院上海微系统所所长、上海工研院董事长谢晓明研究员表示，未来上海工研院将继续探索“超越摩尔”技术研发与转化以及产业生态建设路径，充分发挥衔接科研和产业以及产业技术策源地功能，为相关企业提供高水平的技术供给和高质量的技术服务。

此外，活动现场还举行了“超越摩尔”集成电路生态圈战略合作伙伴代表签约仪式。上海工研院还与摩仑科技、上海汽车芯片工程中心、联影微电子、国家信息光电子中心、浙江大学微纳电子学院等行业知名企业与科研机构代表签订战略合作协议，旨在打破区域产业限制，打通长三角与粤港澳大湾区以及中部地区产业区域限制，实现从设备、芯片生产、设计到封装测试的全产业生态链布局，助力上海集成电路产业高质量发展。

作者：许琦敏

文：许琦敏图：受访者提供责任编辑：任荃

来源：文汇报